半導體潔凈室是半導體制造過程中的關鍵環節。隨著半導體芯片制造工藝的不斷進步，對潔凈室環境的要求也越來越高，任何微小的污染都可能嚴重影響產品的良率，特別是在納米級別的制程中，對空氣中的顆粒物、化學污染物和微生物有極高的控制要求。需要綜合考慮顆粒污染物和氣態分子污染物的控制。以下是一套半導體潔凈室過濾凈化解決方案：（初中高效過濾器）
1. 設計原則（無塵車間過濾器）
- 遵循國家和行業相關標準。
- 確保潔凈室的空氣品質達到規定等級。
（華銳智造·數字化潔凈室濾材集成方案供應商）
2. 過濾系統設計（潔凈室過濾器）
- 初效過濾器：作為預過濾，主要過濾大顆粒塵埃，保護后續高效過濾器。
- 中效過濾器：進一步過濾空氣中的中等顆粒，提高空氣質量。
- 高效過濾器（HEPA/ULPA）：采用高效微粒空氣過濾器或超高效空氣過濾器，過濾效率極高，能夠捕集0.3μm以上的微小顆粒及懸浮物，確保空氣潔凈度達到生產要求。
（華銳智造·數字化潔凈室濾材集成方案供應商）
3. FFU（風機過濾單元）系統（可循環初效過濾器）
- 原理：FFU凈化單元集成了高效過濾器和風機，通過內置的大風量風機將室內空氣吸入，經過高效過濾器后，以均勻的風速送出潔凈空氣。
- 特點：高過濾、大風量、高風速、節能環保、靈活便捷、負壓通風、節省空間。
- 應用：廣泛應用于晶圓制造、光刻區、潔凈工作臺和潔凈室等關鍵區域。
（華銳智造·數字化潔凈室濾材集成方案供應商）
4. 凈化措施（節能型中效過濾器）
- 空氣淋浴：人員在進入潔凈室前，通過空氣淋浴減少衣物上的顆粒物。
- 人流、物流分離：設置獨立的進出口，減少交叉污染。
- 地面材料：選用不起塵、易清潔的材料，如高密度環氧樹脂自流平地面。
- 墻面材料：采用不銹鋼或彩鋼板等光滑、易清潔的材質。
（華銳智造·數字化潔凈室濾材集成方案供應商）
5. 檢測與監控（低阻可拋式高效過濾器）
- 設立粒子計數器，定期檢測潔凈室內的顆粒物濃度。
- 對過濾器前后壓差進行監測，及時更換失效的過濾器。
- 實施溫濕度監控，監測潔凈室內AMC濃度，確保潔凈室環境穩定，保障半導體產品的質量和生產效率。
- 使用BIM可視化技術及SAAS智能運維系統，模擬計算潔凈室內化濾覆蓋率對比化濾效率、更換周期和每年用量的影響，優化配置方案。
（華銳智造·數字化潔凈室濾材集成方案供應商）
6. 維護與管理（大風量W型過濾器）
- 定期維護：對空氣過濾系統、FFU系統、送回風管道等關鍵設備進行定期清潔和更換過濾器，確保設備高效運行，并制定嚴格的潔凈室管理制度，確保人員、物料、設備符合潔凈要求。
- 監測與記錄：通過SAAS智能云運維平臺實施監測潔凈室的溫度、濕度、壓力等環境參數，并記錄相關數據，為生產管理和質量控制提供有力支持，還需要對定期對潔凈室進行清潔、消毒，保持室內環境整潔。
- 培訓和意識提升：加強員工對潔凈室環境重要性的認識，提高員工的環境保護意識和操作技能。
（華銳智造·數字化潔凈室濾材集成方案供應商）
7. 節能措施（快速下拆式FFU過濾機組）
微粒降低能耗，優化空氣過濾器性能是必要的，采用高容塵袋式過濾器可以降低運行能耗，同時減少維護和更換成本。（數字化潔凈室濾材集成方案供應商）
- 優化潔凈室空調系統，提高能效比。
- 采用變頻技術，降低風機能耗。
- 利用余熱回收技術，提高能源利用率。
（華銳智造·數字化潔凈室濾材集成方案供應商）
通過以上解決方案，可以有效保障半導體潔凈室的空氣質量，為半導體制造提供穩定、可靠的生產環境。（潔凈室過濾器）
（華銳智造·數字化潔凈室濾材集成方案供應商）
聯系方式：18850322599（黃廠長）
地址：福建省廈門市翔安區火炬高新區翔岳路63號3樓